Investigation of strain distribution in LOCOS structures by dynamical simulation of LACBED patterns
Articolo
Data di Pubblicazione:
1999
Tipologia CRIS:
01.01 Articolo in rivista
Keywords:
TRANSMISSION ELECTRON-MICROSCOPY; LOCAL ISOLATION STRUCTURES; DIFFRACTION
Elenco autori:
Armigliato, Aldo; Balboni, Roberto
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