Chemical and Structural Properties of a-Si/SiON Multilayer Stacks on c-Si

Abstract

Data di Pubblicazione:

2005

Tipologia CRIS:

04.02 Abstract in Atti di convegno

Keywords:

a-Si/SiON; multilayers

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Titolo del libro:

International Conference on Defects: Recognition, Imaging and Physics in Semiconductors (11, 2005, Beijing)

Pubblicato in:

Journal