Quantitative strain mapping in nanoelectronic silicon devices by convergent beam electron diffraction
Capitolo di libro
Data di Pubblicazione:
2008
Tipologia CRIS:
02.01 Contributo in volume (Capitolo o Saggio)
Elenco autori:
Balboni, Roberto; Armigliato, Aldo
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Titolo del libro:
Beam Injection Based Nanocharacterization of Advanced Materials