AlN on polysilicon piezoelectric cantilevers for sensors/actuators

Articolo
Data di Pubblicazione:
2009
Tipologia CRIS:
01.01 Articolo in rivista
Elenco autori:
Autori di Ateneo:
Link alla scheda completa:
https://iris.cnr.it/handle/20.500.14243/234775
Pubblicato in:
MICROELECTRONIC ENGINEERING
Journal