EXTENDED DEFECT REMOVAL IN SILICON BY RAPID THERMAL ANNEALING

Articolo

Data di Pubblicazione:

1990

Tipologia CRIS:

01.01 Articolo in rivista

Elenco autori:

Calcagno, Lucia; Rimini, Emanuele; Coffa, Salvatore; Spinella, ROSARIO CORRADO

Autori di Ateneo:

SPINELLA ROSARIO CORRADO

Link alla scheda completa:

https://iris.cnr.it/handle/20.500.14243/19389

Pubblicato in:

NUOVO CIMENTO DELLA SOCIETÀ ITALIANA DI FISICA. D CONDENSED MATTER, ATOMIC, MOLECULAR AND CHEMICAL PHYSICS, BIOPHYSICS (TESTO STAMP.)

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