Microfabrication of sharp blazed gratings by a two-step height amplification process based on soft and deep X-ray lithography
Articolo
Data di Pubblicazione:
2014
Tipologia CRIS:
01.01 Articolo in rivista
Keywords:
LIGA; Front-light display; LED; X-ray lithography; Electroplating
Elenco autori:
Sovernigo, Enrico; Grenci, Gianluca; Prasciolu, Mauro; Tormen, Massimo
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