On the assessment of local stress distributions in integrated circuits

Articolo
Data di Pubblicazione:
1993
Tipologia CRIS:
01.01 Articolo in rivista
Keywords:
SILICON; stress; integrated circuits
Elenco autori:
Autori di Ateneo:
Link alla scheda completa:
https://iris.cnr.it/handle/20.500.14243/17849
Pubblicato in:
APPLIED SURFACE SCIENCE
Journal