Procedimento di scrittura su materiale fotosensibile, con l'impiego di un resist di materiali sol-gel ibridi organico-inorganici

Brevetto
Data di Pubblicazione:
2007
Tipologia CRIS:
06.01 Brevetto di invenzione industriale
Elenco autori:
Link alla scheda completa:
https://iris.cnr.it/handle/20.500.14243/132954