High resolution delineation of bi-dimensional dopant profiles in silicon: early stages of diffusion from cobalt silicide layers
Contributo in Atti di convegno
Data di Pubblicazione:
1993
Tipologia CRIS:
04.01 Contributo in Atti di convegno
Elenco autori:
LA VIA, Francesco; Spinella, ROSARIO CORRADO
Link alla scheda completa:
Pubblicato in: