Surface micromechanical process for manufacturing micromachined capacitive ultra-acoustic transducers and relevant micromachined capacitive ultra-acoustic transducer

Brevetto
Data di Pubblicazione:
2006
Tipologia CRIS:
06.01 Brevetto di invenzione industriale
Elenco autori:
Autori di Ateneo:
Link alla scheda completa:
https://iris.cnr.it/handle/20.500.14243/131259