Optical Emission Spectroscopy and Laser Interferometry in the Study of Silicon Film deposition from SiCl4 Glow Discharges
Abstract
Data di Pubblicazione:
1984
Tipologia CRIS:
04.02 Abstract in Atti di convegno
Elenco autori:
Cicala, Grazia
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Titolo del libro:
Atti del XVII Congresso Nazionale di Chimica Inorganica