TEM two-dimensional profiles of B in silicon through sub-micrometer mask
Contributo in Atti di convegno
Data di Pubblicazione:
1994
Tipologia CRIS:
04.01 Contributo in Atti di convegno
Elenco autori:
Raineri, Vito; Spinella, ROSARIO CORRADO
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Titolo del libro:
ELECTRON MICROSCOPY 1994, VOLS 2A AND 2B: APPLICATIONS IN MATERIALS SCIENCES