Boron doping of silicon using excimer laser

Contributo in Atti di convegno
Data di Pubblicazione:
1989
Tipologia CRIS:
04.01 Contributo in Atti di convegno
Elenco autori:
Autori di Ateneo:
Link alla scheda completa:
https://iris.cnr.it/handle/20.500.14243/182234
Titolo del libro:
LASER- AND PARTICLE-BEAM CHEMICAL PROCESSES ON SURFACES
Pubblicato in:
MRS PROCEEDINGS
Series