The Monte Carlo binary collision approximation applied to the simulation of the ion implantation process in single crystal SiC: high dose effects
Articolo
Data di Pubblicazione:
2001
Tipologia CRIS:
01.01 Articolo in rivista
Elenco autori:
Albertazzi, Eros; Lulli, Giorgio; Nipoti, Roberta; Bianconi, Marco
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