LARGE AREA FABRICATION METHOD BASED ON THE LOCAL OXIDATION OF SILICON AND/OR DIFFERENT MATERIALS ON MICRO- AND NANO-SCALE
Brevetto
Data di Pubblicazione:
2005
Tipologia CRIS:
06.01 Brevetto di invenzione industriale
Elenco autori:
Biscarini, Fabio; Cavallini, Massimiliano; Mei, Paolo
Link alla scheda completa: