Polycrystalline 3C-SiC films deposited on 100 mm Si wafers for MEMS

Contributo in Atti di convegno

Data di Pubblicazione:

2009

Tipologia CRIS:

04.01 Contributo in Atti di convegno

Elenco autori:

Bellei, Marco; Poggi, Antonella; Milita, Silvia; Roncaglia, Alberto; Mancarella, Fulvio

Autori di Ateneo:

MANCARELLA FULVIO

MILITA SILVIA

POGGI ANTONELLA

RONCAGLIA ALBERTO

Link alla scheda completa:

https://iris.cnr.it/handle/20.500.14243/69369