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  1. Strutture

Strain Evaluation in SiC MEMS Test Structures

Contributo in Atti di convegno
Data di Pubblicazione:
2009
Tipologia CRIS:
04.01 Contributo in Atti di convegno
Elenco autori:
Poggi, Antonella; Attolini, Giovanni; Frigeri, Cesare; Roncaglia, Alberto; Bosi, Matteo; Rossi, Francesca; Mancarella, Fulvio; Watts, BERNARD ENRICO
Autori di Ateneo:
BOSI MATTEO
MANCARELLA FULVIO
POGGI ANTONELLA
RONCAGLIA ALBERTO
ROSSI FRANCESCA
Link alla scheda completa:
https://iris.cnr.it/handle/20.500.14243/69368
Titolo del libro:
EuroCVD 17/ CVD 17
Pubblicato in:
ECS TRANSACTIONS (ONLINE)
Journal
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