Realizzazione di membrane sospese su fori passanti in LTO / Si costituite da reti di SWNTs ad alta densità
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Data di Pubblicazione:
2010
Abstract:
Si sono realizzate membrane costituite da reti dense di SWNTs sospese su fori microlavorati in substrati di LTO/Si. Il processo di realizzazione comprende la deposizione C-CVD controllata di reti di SWNTs di diversa densità su membrane di LTO in wafer di Si e successivo attacco delle membrane di LTO.
Tipologia CRIS:
05.12 Altro
Keywords:
membrane sospese; SWNT; nanotubi di carbonio a parete singola
Elenco autori:
Veronese, GIULIO PAOLO; Rizzoli, Rita
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