Realizzazione di rivelatori SPAD con grande area attiva

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Data di Pubblicazione:
2006
Abstract:
Sono stati progettati e realizzati prototipi di rivelatori SPAD con elevata area attiva (diametro di 100, 200 e 300um). Il flusso di processo tecnologico รจ stato studiato in modo da ottenere dispositivi grandi ma con prestazioni confrontabili con quelle di rivelatori ad area minore.
Tipologia CRIS:
05.12 Altro
Keywords:
SPAD; photon timing; photon counting
Elenco autori:
Autori di Ateneo:
Link alla scheda completa:
https://iris.cnr.it/handle/20.500.14243/195670