Realizzazione di transistor prototipi mediante processi termici non convenzionali basati sull uso di laser ad eccimeri. Miglioramento delle prestazioni elettriche del transistor rispetto all uso di processi termici convenzionali.
Altro Prodotto di Ricerca
Data di Pubblicazione:
2005
Tipologia CRIS:
05.12 Altro
Elenco autori:
Privitera, Vittorio; Fortunato, Guglielmo; LA MAGNA, Antonino
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