An efficient silicon micromachining technique for thermally-based microsystems

Contributo in Atti di convegno

Data di Pubblicazione:

2005

Tipologia CRIS:

04.01 Contributo in Atti di convegno

Elenco autori:

Mancarella, Fulvio; Roncaglia, Alberto; Sanmartin, Michele; Pizzochero, Giulio; Severi, Maurizio; Cardinali, GIAN CARLO

Autori di Ateneo:

MANCARELLA FULVIO

PIZZOCHERO GIULIO

RONCAGLIA ALBERTO

SANMARTIN MICHELE

Link alla scheda completa:

https://iris.cnr.it/handle/20.500.14243/69305