Evolution of Interface Properties During Atomic Layer Deposition of Rare Earth-based High-k Dielectrics on Si, Ge and III-V Substrates
Contributo in Atti di convegno
Data di Pubblicazione:
2010
Tipologia CRIS:
04.01 Contributo in Atti di convegno
Elenco autori:
Perego, Michele; Molle, Alessandro; Fanciulli, Marco; Wiemer, Claudia
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