Aluminium Nitride nanostructures deposited by rf magnetron sputtering

Abstract
Data di Pubblicazione:
2019
Tipologia CRIS:
04.02 Abstract in Atti di convegno
Keywords:
aluminium nitride nanostructures; rf magnetron sputtering; superhard rhodium boride films
Elenco autori:
Autori di Ateneo:
Link alla scheda completa:
https://iris.cnr.it/handle/20.500.14243/408095