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  1. Pubblicazioni

Characterizing microelectromechanical systems with digital holography

Articolo
Data di Pubblicazione:
2016
Abstract:
A variety of numerical tools can be used to compensate for unwanted aberrations in acquired digitized holograms and improve the precision of metrology measurements.
Tipologia CRIS:
01.01 Articolo in rivista
Keywords:
MEMS; holography
Elenco autori:
Ferraro, Pietro; Pagliarulo, Vito
Autori di Ateneo:
FERRARO PIETRO
PAGLIARULO VITO
Link alla scheda completa:
https://iris.cnr.it/handle/20.500.14243/331805
Pubblicato in:
SPIE NEWSROOM
Journal
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