Low temperature growth of r.f. reactively planar magnetron-sputtered AlN films

Articolo
Data di Pubblicazione:
1995
Abstract:
[object Object]
Tipologia CRIS:
01.01 Articolo in rivista
Keywords:
Aluminium nitride; Sputtering; X-ray diffraction; X-ray photoelectron spectroscopy
Elenco autori:
Link alla scheda completa:
https://iris.cnr.it/handle/20.500.14243/299164
Pubblicato in:
THIN SOLID FILMS
Journal