Strain determination in submicron isolation structures by TEM/CBED

Contributo in Atti di convegno
Data di Pubblicazione:
1999
Tipologia CRIS:
04.01 Contributo in Atti di convegno
Elenco autori:
Autori di Ateneo:
Link alla scheda completa:
https://iris.cnr.it/handle/20.500.14243/198471
Titolo del libro:
MICROSCOPY OF SEMICONDUCTING MATERIALS 1999
Pubblicato in:
INSTITUTE OF PHYSICS CONFERENCE SERIES
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