Digital holographic microscope for dynamic characterization of a micromechanical shunt switch
Contributo in Atti di convegno
Data di Pubblicazione:
2005
Tipologia CRIS:
04.01 Contributo in Atti di convegno
Keywords:
microscopy; holographt; MEMS; interferometry
Elenco autori:
DE NICOLA, Sergio; Finizio, Andrea; Pierattini, Giovanni
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