Amorphous silicon nitrogen alloys deposited by PECVD under hydrogen dilution conditions
Contributo in Atti di convegno
Data di Pubblicazione:
1998
Tipologia CRIS:
04.01 Contributo in Atti di convegno
Elenco autori:
Desalvo, Agostino; Rizzoli, Rita; Summonte, Caterina
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Titolo del libro:
Physics of Semiconductor Devices