PECVD of h-BN and c-BN films from boranedimethylamine as a single source precursor

Contributo in Atti di convegno

Data di Pubblicazione:

2003

Tipologia CRIS:

04.01 Contributo in Atti di convegno

Elenco autori:

Battiston, Giovanni; Convertino, Annalisa; Gerbasi, Rosalba; Viticoli, Sesto

Link alla scheda completa:

https://iris.cnr.it/handle/20.500.14243/78243