Mechanical characterization of 3C-SiC grown on Si micromachined cantilever

Poster

Data di Pubblicazione:

2010

Tipologia CRIS:

04.03 Poster in Atti di convegno

Keywords:

SiC; stress; MEMS

Elenco autori:

Ranzieri, Paolo; Attolini, Giovanni; Nasi, Lucia; Bosi, Matteo; Watts, BERNARD ENRICO

Autori di Ateneo:

BOSI MATTEO

NASI LUCIA

Link alla scheda completa:

https://iris.cnr.it/handle/20.500.14243/99696