Evaluation of curvature and stress in 3C-SiC grown on differently oriented Si substrates

Poster
Data di Pubblicazione:
2010
Tipologia CRIS:
04.03 Poster in Atti di convegno
Keywords:
SiC; stress; CURVATURE; growth
Elenco autori:
Autori di Ateneo:
Link alla scheda completa:
https://iris.cnr.it/handle/20.500.14243/99693