Silicon Carbide thin films deposited with PVD techniques with a stoichiometry Si:C close to 1:1
Contributo in Atti di convegno
Data di Pubblicazione:
2009
Tipologia CRIS:
04.01 Contributo in Atti di convegno
Elenco autori:
Nicolosi, Piergiorgio; Pelizzo, MARIA GUGLIELMINA
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