Deposition and characterization of B4C/CeO2 multilayers at 6.x nm extreme ultraviolet wavelengths
Articolo
Data di Pubblicazione:
2016
Abstract:
[object Object]
Tipologia CRIS:
01.01 Articolo in rivista
Keywords:
deposition; multilayers
Elenco autori:
Nicolosi, Piergiorgio; Giglia, Angelo
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