Data di Pubblicazione:
1994
Abstract:
-
Tipologia CRIS:
04.01 Contributo in Atti di convegno
Keywords:
a-SiC:H thin films; boron doping; phosphorus doping; ion implantation
Elenco autori:
Rizzoli, Rita; Summonte, Caterina
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Titolo del libro:
AMORPHOUS SILICON TECHNOLOGY-1994
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