Sistema multitarget per un impianto di deposizione Pulsed Laser Deposition (PLD)
Other Research Product
Publication Date:
2006
abstract:
Apparecchiatura meccanica di precisione con sistema elettronico di controllo della movimentazione che permette di utilizzare, in una camera di deposizione PLD tre target, con materiali diversi
Iris type:
05.08 Prototipo d'arte e relativi progetti
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