Sistema multitarget per un impianto di deposizione Pulsed Laser Deposition (PLD)
Altro Prodotto di Ricerca
Data di Pubblicazione:
2006
Abstract:
Apparecchiatura meccanica di precisione con sistema elettronico di controllo della movimentazione che permette di utilizzare, in una camera di deposizione PLD tre target, con materiali diversi
Tipologia CRIS:
05.08 Prototipo d'arte e relativi progetti
Elenco autori:
Verardi, Patrizio
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