A novel mechanism to explain wafer bending during the growth of SiC on Si

Poster
Data di Pubblicazione:
2008
Tipologia CRIS:
04.03 Poster in Atti di convegno
Keywords:
SiC; Growth; Bending
Elenco autori:
Autori di Ateneo:
Link alla scheda completa:
https://iris.cnr.it/handle/20.500.14243/99312