Theoretical and experimental investigation of PSAW and SAW properties of AlN films on isotropic diamond substrates
Contributo in Atti di convegno
Data di Pubblicazione:
2005
Abstract:
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Tipologia CRIS:
04.01 Contributo in Atti di convegno
Keywords:
Aluminum nitride; Diamond films; Electro-acoustic devices; SAW and PSAW propagation
Elenco autori:
Benetti, Massimiliano; Cannata', Domenico; DI PIETRANTONIO, Fabio; Verona, Enrico
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