Process dependence of doped polysilicon thermal conductivity for thermal MEMS applications
Contributo in Atti di convegno
Data di Pubblicazione:
2006
Tipologia CRIS:
04.01 Contributo in Atti di convegno
Elenco autori:
Mancarella, Fulvio; Cristiani, Stefano; Roncaglia, Alberto; Severi, Maurizio; Cardinali, GIAN CARLO
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