Microinterruttori MEMS per applicazioni RF in tecnologia polimerica

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Data di Pubblicazione:
2010
Abstract:
prototipi di microinterruttori in tecnologia MEMS basati su fotlitografia di polimeri e rimozine di strati sacrificali
Tipologia CRIS:
05.08 Prototipo d'arte e relativi progetti
Keywords:
RF MEMS
Elenco autori:
Autori di Ateneo:
Link alla scheda completa:
https://iris.cnr.it/handle/20.500.14243/183502