SiC Films and Coatings: Amorphous, Polycrystalline, and Single Crystal Forms

Capitolo di libro
Data di Pubblicazione:
2012
Abstract:
A broad review of the different forms of 3C-SiC on silicon is presented in this chapter.
Tipologia CRIS:
02.01 Contributo in volume (Capitolo o Saggio)
Keywords:
silicon carbide; CVD growth
Elenco autori:
Autori di Ateneo:
Link alla scheda completa:
https://iris.cnr.it/handle/20.500.14243/305589