Reattore prototipo per rivestimenti protettivi di superfici di argento a base di ossidi di alluminio con la tecnica MOCVD
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Data di Pubblicazione:
2001
Abstract:
Si è costruito un reattore industriale atto a rivestire le catene di argento con uno strato trasparente di ossido di alluminio a scopo protettivo. I rivestimenti di Al2O3 offrono elevata durezza e stabilità chimica, proprietà che li rendono idonei ad essere utilizzati come rivestimenti protettivi anti-usura ed anti-corrosione, come pure unalta costante dielettrica che li rende utili in sistemi ottici e optoelettronici. Si è utilizzato lalluminio dimetilisopropossido come precursore, da noi progettato, e si è indagato il comportamento a varie pressioni di lavoro e in presenza di vari reagenti compreso il vapore dacqua finchè sono state ottenute le condizioni ottimali per la deposizione di ossido di alluminio a temperature basse fino a 200°C. Il reattore costruito si è dimostrato molto rispondente alle esigenze dell'industria. Le caratteristiche sono: reattore a tubo verticale, a pareti calde, avente dimensioni di 1500 mm di altezza e 500 mm di diametro. Esso è in grado di ricoprire più di 250 collane d'argento per ogni deposizione (circa 10 minuti).
Tipologia CRIS:
05.12 Altro
Keywords:
allumina; MOCVD; reattore industriale; protezione; argento
Elenco autori:
Battiston, Giovanni; Gerbasi, Rosalba; Zanella, Pierino
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