Dielectric and Semiconductor Membranes as Support for Lumped Elements and Coplanar Waveguides

Contributo in Atti di convegno
Data di Pubblicazione:
1997
Abstract:
Optimum non-selective etching solutions for obtaining GaAs membranes have been studied.
Tipologia CRIS:
04.01 Contributo in Atti di convegno
Keywords:
GaAs; Micromachining
Elenco autori:
Link alla scheda completa:
https://iris.cnr.it/handle/20.500.14243/202309
Titolo del libro:
Proceedings of the 8th Micromechanics Europe Workshop, MME'97