Post-growth process effect on hetero-epitxial 3C-SiC wafer bow and residual stress

Articolo
Data di Pubblicazione:
2013
Tipologia CRIS:
01.01 Articolo in rivista
Elenco autori:
Autori di Ateneo:
Link alla scheda completa:
https://iris.cnr.it/handle/20.500.14243/181126
Pubblicato in:
MATERIALS SCIENCE FORUM
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