An integrated Xenon flow regulator obtained by means of micromaching

Contributo in Atti di convegno
Data di Pubblicazione:
1999
Tipologia CRIS:
04.01 Contributo in Atti di convegno
Elenco autori:
Link alla scheda completa:
https://iris.cnr.it/handle/20.500.14243/173407
Titolo del libro:
Sensors and Microsystems, Proceedings of the 4th Italian Conference on Sensors and Microsystems