Fabrication and characterization of high-doped suspended silicon wires

Abstract
Data di Pubblicazione:
2002
Tipologia CRIS:
04.02 Abstract in Atti di convegno
Elenco autori:
Link alla scheda completa:
https://iris.cnr.it/handle/20.500.14243/173336
Titolo del libro:
Book of Abstracts of the 28th International Conference on Micro and Nano Engineering (MNE 2002)