?Procedimento su larga area per l?ossidazione locale del silicio e/o altri materiali mediante stampaggio su scale micro- e nanometriche?
Brevetto
Data di Pubblicazione:
2003
Tipologia CRIS:
06.01 Brevetto di invenzione industriale
Keywords:
nanotecnoloy; nanofabrication; silicon technology; local oxidation; patterning
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