Hydrocarbon and Fluorocarbon Thin Film Deposition in Atmospheric Pressure Glow Dielectric Barrier Discharges
Capitolo di libro
Data di Pubblicazione:
2008
Tipologia CRIS:
02.01 Contributo in volume (Capitolo o Saggio)
Elenco autori:
D'Agostino, Riccardo; Fracassi, Francesco; Fanelli, Fiorenza
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Titolo del libro:
Advanced Plasma Technology