Silicon micromachining and material nanotechnology for sensor applications
Contributo in Atti di convegno
Data di Pubblicazione:
1999
Tipologia CRIS:
04.01 Contributo in Atti di convegno
Elenco autori:
Poggi, Antonella; Angelucci, Renato; Maccagnani, Piera; Dori, Leonello; Nicoletti, Sergio; Cardinali, GIAN CARLO
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Titolo del libro:
PRECISION ENGINEERING, NANOTECHNOLOGY,