Sistema di imaging a contatto in trasmissione basato su una sorgente laser plasma a raggi X con rivelazione in fluorescenza, per applicazioni all analisi dello spessore e della composizione chimica di film sottili

Sistema di imaging a contatto in trasmissione basato su una sorgente laser plasma a raggi X con rivelazione in fluorescenza costituita da un cristallo di fluoruro di litio, per applicazioni all’analisi dello spessore (decine di nanometri) e della composizione chimica di film sottili